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    影響真空等離子清洗機均勻性的因素

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    影響真空等離子清洗機均勻性的因素

    發布日期:2019-01-30 13:18 來源:http://www.abletrade8.cn 點擊:

      影響真空等離子清洗機均勻性的因素很多,包括腔體大小、進氣方式、電極結構、電源頻率、氣體流量、功率大小等等。簡要介紹腔體大小和進氣方式對均勻性的影響。

      

    JDJX-500


      1、真空等離子清洗機腔體的容積越大,均勻性越難掌控,尤其對電源的選擇要慎重。真空等離子清洗機自10L以上都可進行個性化的設計。但如等離子發生器只選用13.56MHz的RF電源,那么建議盡量控制在600L以內,腔體越大所需的RF電源功率就越大;尤其是使用3000W及以上功率,則建議使用美國AE、MKS或其他進口的RF電源,成本相對較高,但穩定可靠。如處理的產品對均勻性要求高,建議使用40KHz的中頻電源或將真空腔體控制在100L以內。

      2、等離子清洗設備使用前進氣后排氣的方式,經過測試這種均勻性相對較好。腔體內的進氣管通常用鋁管,將鋁管彎折并焊接成類似方形結構并在鋁管上開孔,開孔位置在兩層電極板的中間,保證每層處理空間都有獨立的進氣品。


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